陀螺仪

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MEMS陀螺仪对振动的敏感度

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laoguo 回复了问题 • 1 人关注 • 1 个回复 • 130 次浏览 • 2022-02-10 12:26 • 来自相关话题

IMU、AHRS和VRU的区别

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laoguo 发起了问题 • 1 人关注 • 0 个回复 • 252 次浏览 • 2021-07-18 21:44 • 来自相关话题

陀螺仪ENC-03M和MPU6050中的陀螺仪有什么区别?

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laoguo 回复了问题 • 1 人关注 • 1 个回复 • 244 次浏览 • 2021-06-17 10:32 • 来自相关话题

bmg160驱动代码有吗?

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laoguo 回复了问题 • 1 人关注 • 1 个回复 • 253 次浏览 • 2021-06-10 17:10 • 来自相关话题

MuraTa单晶硅电容传感器MEMS介绍

laoguo 发表了文章 • 0 个评论 • 350 次浏览 • 2020-09-04 13:06 • 来自相关话题

Murata公司的硅电容传感器是用单晶硅及玻璃制成,可在长时间、宽温度范围内保持高可靠性、准确性、及稳定性。依靠半导体产业的制造技术,能保证量产与安定的价格。此外,还拥有晶片结合、硅深反应离子刻蚀(DRIE: Deep Reactive Ion Etch ...查看全部

Murata公司的硅电容传感器是用单晶硅及玻璃制成,可在长时间、宽温度范围内保持高可靠性、准确性、及稳定性。依靠半导体产业的制造技术,能保证量产与安定的价格。此外,还拥有晶片结合、硅深反应离子刻蚀(DRIE: Deep Reactive Ion Etching) 等MEMS特有的技术。

使用的是两个表面之间距离变化为基础的简单、稳定的静电容量检测原理。两个表面的静电容量(蓄电量)的距离根据重合部分的不同而不同。3D MEMS传感器结构坚固、对惯性及压力灵敏度高,但不会对其他的环境变化因素和故障原因产生反应。例如,将加速度传感器及陀螺仪左右对称放置,依据设计原理,可以提高稳定性、直线性、他轴灵敏度、振动灵敏度。 

本公司的3D MEMS采用晶圆级工艺封装(密封)。粒子、化学品等无法进入密封的传感器中,可靠性得到了保证。本公司已率先在玻璃晶圆上使用硅通孔,减小了产品的空间,实现了封装工艺的简单化。

配合用途,加速度传感器、陀螺仪的圧力传感元件的灵敏度、测量范围、响应频率都可以进行调整。加速度传感器及陀螺仪的平面及Z轴测量,可以实现3轴感知。陀螺仪可以用来检测地球自转这类微小信号,也可以追踪人的手的移动这类大幅度运动的信号,用途广泛。

使用SiP (System in Package)技术,将1个或多个感应元件放入信号处理电路中。结构非常坚固、高可靠性的膜制塑料封装,常被用于汽车产品及工业产品。



MEMS陀螺仪对振动的敏感度

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IMU、AHRS和VRU的区别

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MuraTa单晶硅电容传感器MEMS介绍

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Murata公司的硅电容传感器是用单晶硅及玻璃制成,可在长时间、宽温度范围内保持高可靠性、准确性、及稳定性。依靠半导体产业的制造技术,能保证量产与安定的价格。此外,还拥有晶片结合、硅深反应离子刻蚀(DRIE: Deep Reactive Ion Etch ...查看全部

Murata公司的硅电容传感器是用单晶硅及玻璃制成,可在长时间、宽温度范围内保持高可靠性、准确性、及稳定性。依靠半导体产业的制造技术,能保证量产与安定的价格。此外,还拥有晶片结合、硅深反应离子刻蚀(DRIE: Deep Reactive Ion Etching) 等MEMS特有的技术。

使用的是两个表面之间距离变化为基础的简单、稳定的静电容量检测原理。两个表面的静电容量(蓄电量)的距离根据重合部分的不同而不同。3D MEMS传感器结构坚固、对惯性及压力灵敏度高,但不会对其他的环境变化因素和故障原因产生反应。例如,将加速度传感器及陀螺仪左右对称放置,依据设计原理,可以提高稳定性、直线性、他轴灵敏度、振动灵敏度。 

本公司的3D MEMS采用晶圆级工艺封装(密封)。粒子、化学品等无法进入密封的传感器中,可靠性得到了保证。本公司已率先在玻璃晶圆上使用硅通孔,减小了产品的空间,实现了封装工艺的简单化。

配合用途,加速度传感器、陀螺仪的圧力传感元件的灵敏度、测量范围、响应频率都可以进行调整。加速度传感器及陀螺仪的平面及Z轴测量,可以实现3轴感知。陀螺仪可以用来检测地球自转这类微小信号,也可以追踪人的手的移动这类大幅度运动的信号,用途广泛。

使用SiP (System in Package)技术,将1个或多个感应元件放入信号处理电路中。结构非常坚固、高可靠性的膜制塑料封装,常被用于汽车产品及工业产品。