
加速度传感器
MuraTa单晶硅电容传感器MEMS介绍
laoguo 发表了文章 • 0 个评论 • 711 次浏览 • 2020-09-04 13:06

Murata公司的硅电容传感器是用单晶硅及玻璃制成,可在长时间、宽温度范围内保持高可靠性、准确性、及稳定性。依靠半导体产业的制造技术,能保证量产与安定的价格。此外,还拥有晶片结合、硅深反应离子刻蚀(DRIE: Deep Reactive Ion Etching) 等MEMS特有的技术。
使用的是两个表面之间距离变化为基础的简单、稳定的静电容量检测原理。两个表面的静电容量(蓄电量)的距离根据重合部分的不同而不同。3D MEMS传感器结构坚固、对惯性及压力灵敏度高,但不会对其他的环境变化因素和故障原因产生反应。例如,将加速度传感器及陀螺仪左右对称放置,依据设计原理,可以提高稳定性、直线性、他轴灵敏度、振动灵敏度。
本公司的3D MEMS采用晶圆级工艺封装(密封)。粒子、化学品等无法进入密封的传感器中,可靠性得到了保证。本公司已率先在玻璃晶圆上使用硅通孔,减小了产品的空间,实现了封装工艺的简单化。
配合用途,加速度传感器、陀螺仪的圧力传感元件的灵敏度、测量范围、响应频率都可以进行调整。加速度传感器及陀螺仪的平面及Z轴测量,可以实现3轴感知。陀螺仪可以用来检测地球自转这类微小信号,也可以追踪人的手的移动这类大幅度运动的信号,用途广泛。
使用SiP (System in Package)技术,将1个或多个感应元件放入信号处理电路中。结构非常坚固、高可靠性的膜制塑料封装,常被用于汽车产品及工业产品。
压电 (PE)、压阻 (PR) 和可变电容 (VC) 加速度传感器有什么区别?
回复laoguo 回复了问题 • 1 人关注 • 1 个回复 • 1210 次浏览 • 2020-08-28 11:19
Murata停产加速度传感器/倾角传感器替代型号
laoguo 发表了文章 • 0 个评论 • 907 次浏览 • 2020-07-06 14:05
村田旗下VTI SCA100T,SCA61T,SCA103T系列产品停产,以下是对应替代型号。注意不是PIN TO PIN替代。
加速度传感器灵敏度表示的几种方式LSB/g,count/g,V/g,V/°,请给出几种方式之间的说明及转换公式
回复laoguo 回复了问题 • 1 人关注 • 1 个回复 • 1034 次浏览 • 2020-05-26 10:19
压电 (PE)、压阻 (PR) 和可变电容 (VC) 加速度传感器有什么区别?
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加速度传感器灵敏度表示的几种方式LSB/g,count/g,V/g,V/°,请给出几种方式之间的说明及转换公式
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MuraTa单晶硅电容传感器MEMS介绍
laoguo 发表了文章 • 0 个评论 • 711 次浏览 • 2020-09-04 13:06

Murata公司的硅电容传感器是用单晶硅及玻璃制成,可在长时间、宽温度范围内保持高可靠性、准确性、及稳定性。依靠半导体产业的制造技术,能保证量产与安定的价格。此外,还拥有晶片结合、硅深反应离子刻蚀(DRIE: Deep Reactive Ion Etching) 等MEMS特有的技术。
使用的是两个表面之间距离变化为基础的简单、稳定的静电容量检测原理。两个表面的静电容量(蓄电量)的距离根据重合部分的不同而不同。3D MEMS传感器结构坚固、对惯性及压力灵敏度高,但不会对其他的环境变化因素和故障原因产生反应。例如,将加速度传感器及陀螺仪左右对称放置,依据设计原理,可以提高稳定性、直线性、他轴灵敏度、振动灵敏度。
本公司的3D MEMS采用晶圆级工艺封装(密封)。粒子、化学品等无法进入密封的传感器中,可靠性得到了保证。本公司已率先在玻璃晶圆上使用硅通孔,减小了产品的空间,实现了封装工艺的简单化。
配合用途,加速度传感器、陀螺仪的圧力传感元件的灵敏度、测量范围、响应频率都可以进行调整。加速度传感器及陀螺仪的平面及Z轴测量,可以实现3轴感知。陀螺仪可以用来检测地球自转这类微小信号,也可以追踪人的手的移动这类大幅度运动的信号,用途广泛。
使用SiP (System in Package)技术,将1个或多个感应元件放入信号处理电路中。结构非常坚固、高可靠性的膜制塑料封装,常被用于汽车产品及工业产品。
Murata停产加速度传感器/倾角传感器替代型号
laoguo 发表了文章 • 0 个评论 • 907 次浏览 • 2020-07-06 14:05
村田旗下VTI SCA100T,SCA61T,SCA103T系列产品停产,以下是对应替代型号。注意不是PIN TO PIN替代。