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Murata(VTI)3D MEMS传感器的结构和特点

laoguo 发表了文章 • 0 个评论 • 1059 次浏览 • 2020-09-04 13:14 • 来自相关话题

3D MEMS (3D Micro-Electro-Mechanical-System—3维微机电系统) 通过创造性地结合相关技术,将硅材料加工成3维结构并进行密封,使之便于安装和组装并具有精度高、单位体积小、功耗低的特点。被装配在微小的硅材料内部的先进 ...查看全部

3D MEMS (3D Micro-Electro-Mechanical-System—3维微机电系统) 通过创造性地结合相关技术,将硅材料加工成3维结构并进行密封,使之便于安装和组装并具有精度高、单位体积小、功耗低的特点。被装配在微小的硅材料内部的先进传感器,能够对相互垂直的3个轴向的加速度进行测量。

利用3D MEMS技术,研制出了高精度倾角传感器的理想的构造。如通过在内部的加速度传感器内增设机械衰减机制,使得倾角传感器和高分辨率测高计即使在强烈震动的环境中也能正常工作。这些传感器产品的耗电量极低,这一优势在通过电池驱动的设备中能够很明显的体现出来。

所开发的倾斜计采用了3D MEMS技术,在角度检测时能够达到小于1分的精度等级,可从容应对较高级别的水平度测量,在性能方面优于其他所有的MEMS技术。优异的性能与微安级的耗电量相结合,使之成为了无线应用的理想选择。

3D MEMS的优点

单晶硅:理想的弹性材料,无塑性形变,可承受70,000g的力。

电容式感应

  • 对惯性质体的位置变化进行直接测量

  • 两平面间多样性的面间距

  • 电容C (一对平面间的电荷存储容量) 是由面间距d和面积A决定的

  • C = e0×A/d

  • 高精度、良好的稳定性,并且由于使用的电容器数量少易于实现自我诊断。

  • 耗电量低

密封结构

  • 所需的外壳尺寸小。

  • 可靠性: 粉末颗粒或工程试剂等杂质不会侵入产品内部。

  • 对称结构

  • 加速度传感器的零点稳定性、更好的线性和它轴灵敏度

  • 温度特性低于0.2mg/℃

  • 非线性的标准值低于1%

  • 他轴灵敏度的标准值低于3%

定制品

  • 可根据应用场合调整至特定的灵敏度和频率响应

  • 灵活的两片式构造

真正意义上的3D结构

  • 大惯性质体,凭借大容量实现高性能、低重力加速度的检测

  • 零点稳定性和噪声性能

  • 使3D传感元件成为可能



SCA60C倾角计有替代型号吗?

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laoguo 回复了问题 • 1 人关注 • 1 个回复 • 1840 次浏览 • 2020-07-17 17:22 • 来自相关话题

SCL3300-D01与SCA100T,SCA61T的区别详解

laoguo 发表了文章 • 1 个评论 • 4634 次浏览 • 2020-07-17 10:45 • 来自相关话题

更换为新的SCL3300倾斜传感器可能意味着更多的工作,但相比以前的模拟传感器有很大的优势。村 ...查看全部

更换为新的SCL3300倾斜传感器可能意味着更多的工作,但相比以前的模拟传感器有很大的优势。村田将提供过渡期间的支持。

 

在倾斜传感器应用中,SCA100TSCA61T可以由新的SCL3300替换,这是一种数字3轴倾斜传感器。即使更换需要在系统中进行一些重新设计并重新考虑应用,但数字传感器的好处也是显而易见的。

 

降低系统成本

 

以前的传感器是模拟的,但SCL3300是数字的,这意味着不再需要A/D转换器,从而使设计系统变得更加容易,但更重要的是降低了系统总成本。

 

村田制作所确保传感器的内部A/D转换器具有其性能与任何外部转换器一样的高质量。

 

SCL3300在三个轴上测量,它可以直接输出倾斜数据,而不是输出用作倾斜计算基础的加速度数据。使用以前的1轴或2轴传感器实现3轴测量需要多个传感器和一个垂直PCB。这意味着SCL3300有助于降低系统成本。

 

此外,SCL3300在正常使用时的电流消耗仅为1-2 mA,而SCA100TSCA61T则为4 mA。在更低的电流消耗至关重要的情况下,SCL3300可以切换到省电模式,从而将功耗降至10μA。这样,传感器就可以通过电池工作,例如在结构健康监测应用中。

 

与前几代相比,新传感器的尺寸也小得多。这使得可以减小包装尺寸,从而导致成本更低。

 

更多选择

 

使用SCL3300,用户可以从三种不同的动态范围中进行选择,较大的测量范围具有较低的灵敏度,较小的测量范围则具有较高的灵敏度。

 

这允许对每个应用调整精度和抗振性,原先必须针对不同的范围选择较早的不同传感器,现可以在不同的应用中使用相同的传感器。

 

SCL3300的横轴灵敏度远低于前代产品(±1%±4%),因此不易出现安装错误。

 

虽然SCL33003轴传感器,但它也可以用于1轴或2轴测量。在较大倾斜角度(>30度)或完全旋转的情况下,利用两个测量轴在一个倾斜方向上进行测量总是有益的。如果需要测量第三轴,则可以在必要时使用它。

 

SCL3300也代表了村田的一种新平台思维。该传感器与SCA3300加速度计完全兼容,在同一系列中开发新传感器可以使您升级解决方案更快速、更轻松。

 

SCL3300偏移温度依赖性

 

SCL3300-D01 Y轴偏移温度曲线

SCL3300-D01 X轴偏移温度曲线

SCL3300-D01 Z轴偏移温度曲线

SCL3300-D01 Z轴偏移温度曲线SCL3300-D01与sca100t,sca61t性能参数比较


Murata停产加速度传感器/倾角传感器替代型号

laoguo 发表了文章 • 0 个评论 • 1327 次浏览 • 2020-07-06 14:05 • 来自相关话题

村田旗下VTI SCA100T,SCA61T,SCA103T系列产品停产,以下是对应替代型号。注意不是PIN TO PIN替代。 ...查看全部

村田旗下VTI SCA100T,SCA61T,SCA103T系列产品停产,以下是对应替代型号。注意不是PIN TO PIN替代。murata.jpg

SCA60C倾角计有替代型号吗?

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Murata(VTI)3D MEMS传感器的结构和特点

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3D MEMS (3D Micro-Electro-Mechanical-System—3维微机电系统) 通过创造性地结合相关技术,将硅材料加工成3维结构并进行密封,使之便于安装和组装并具有精度高、单位体积小、功耗低的特点。被装配在微小的硅材料内部的先进 ...查看全部

3D MEMS (3D Micro-Electro-Mechanical-System—3维微机电系统) 通过创造性地结合相关技术,将硅材料加工成3维结构并进行密封,使之便于安装和组装并具有精度高、单位体积小、功耗低的特点。被装配在微小的硅材料内部的先进传感器,能够对相互垂直的3个轴向的加速度进行测量。

利用3D MEMS技术,研制出了高精度倾角传感器的理想的构造。如通过在内部的加速度传感器内增设机械衰减机制,使得倾角传感器和高分辨率测高计即使在强烈震动的环境中也能正常工作。这些传感器产品的耗电量极低,这一优势在通过电池驱动的设备中能够很明显的体现出来。

所开发的倾斜计采用了3D MEMS技术,在角度检测时能够达到小于1分的精度等级,可从容应对较高级别的水平度测量,在性能方面优于其他所有的MEMS技术。优异的性能与微安级的耗电量相结合,使之成为了无线应用的理想选择。

3D MEMS的优点

单晶硅:理想的弹性材料,无塑性形变,可承受70,000g的力。

电容式感应

  • 对惯性质体的位置变化进行直接测量

  • 两平面间多样性的面间距

  • 电容C (一对平面间的电荷存储容量) 是由面间距d和面积A决定的

  • C = e0×A/d

  • 高精度、良好的稳定性,并且由于使用的电容器数量少易于实现自我诊断。

  • 耗电量低

密封结构

  • 所需的外壳尺寸小。

  • 可靠性: 粉末颗粒或工程试剂等杂质不会侵入产品内部。

  • 对称结构

  • 加速度传感器的零点稳定性、更好的线性和它轴灵敏度

  • 温度特性低于0.2mg/℃

  • 非线性的标准值低于1%

  • 他轴灵敏度的标准值低于3%

定制品

  • 可根据应用场合调整至特定的灵敏度和频率响应

  • 灵活的两片式构造

真正意义上的3D结构

  • 大惯性质体,凭借大容量实现高性能、低重力加速度的检测

  • 零点稳定性和噪声性能

  • 使3D传感元件成为可能



SCL3300-D01与SCA100T,SCA61T的区别详解

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更换为新的SCL3300倾斜传感器可能意味着更多的工作,但相比以前的模拟传感器有很大的优势。村田将提供过渡期间的支持。

 

在倾斜传感器应用中,SCA100TSCA61T可以由新的SCL3300替换,这是一种数字3轴倾斜传感器。即使更换需要在系统中进行一些重新设计并重新考虑应用,但数字传感器的好处也是显而易见的。

 

降低系统成本

 

以前的传感器是模拟的,但SCL3300是数字的,这意味着不再需要A/D转换器,从而使设计系统变得更加容易,但更重要的是降低了系统总成本。

 

村田制作所确保传感器的内部A/D转换器具有其性能与任何外部转换器一样的高质量。

 

SCL3300在三个轴上测量,它可以直接输出倾斜数据,而不是输出用作倾斜计算基础的加速度数据。使用以前的1轴或2轴传感器实现3轴测量需要多个传感器和一个垂直PCB。这意味着SCL3300有助于降低系统成本。

 

此外,SCL3300在正常使用时的电流消耗仅为1-2 mA,而SCA100TSCA61T则为4 mA。在更低的电流消耗至关重要的情况下,SCL3300可以切换到省电模式,从而将功耗降至10μA。这样,传感器就可以通过电池工作,例如在结构健康监测应用中。

 

与前几代相比,新传感器的尺寸也小得多。这使得可以减小包装尺寸,从而导致成本更低。

 

更多选择

 

使用SCL3300,用户可以从三种不同的动态范围中进行选择,较大的测量范围具有较低的灵敏度,较小的测量范围则具有较高的灵敏度。

 

这允许对每个应用调整精度和抗振性,原先必须针对不同的范围选择较早的不同传感器,现可以在不同的应用中使用相同的传感器。

 

SCL3300的横轴灵敏度远低于前代产品(±1%±4%),因此不易出现安装错误。

 

虽然SCL33003轴传感器,但它也可以用于1轴或2轴测量。在较大倾斜角度(>30度)或完全旋转的情况下,利用两个测量轴在一个倾斜方向上进行测量总是有益的。如果需要测量第三轴,则可以在必要时使用它。

 

SCL3300也代表了村田的一种新平台思维。该传感器与SCA3300加速度计完全兼容,在同一系列中开发新传感器可以使您升级解决方案更快速、更轻松。

 

SCL3300偏移温度依赖性

 

SCL3300-D01 Y轴偏移温度曲线

SCL3300-D01 X轴偏移温度曲线

SCL3300-D01 Z轴偏移温度曲线

SCL3300-D01 Z轴偏移温度曲线SCL3300-D01与sca100t,sca61t性能参数比较


Murata停产加速度传感器/倾角传感器替代型号

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