D6F流量传感器原理

欧姆龙MEMS流量传感器检测原理：在没有气体流动的情况下以加热器为中心，温度分布左右对称。流动的状态下，加热器上风向的温度低，下风向温度高，温度分布不再对称。将该温差作为热电堆的电动势之差进行传感，可测量流量、流速而不影响温度、压力。此外，热电堆为热电动势方式，与电阻式相比，有助于降低功耗。