D6F流量传感器原理

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欧姆龙MEMS流量传感器检测原理:在没有气体流动的情况下以加热器为中心,温度分布左右对称。流动的状态下,加热器上风向的温度低,下风向温度高,温度分布不再对称。将该温差作为热电堆的电动势之差进行传感,可测量流量、流速而不影响温度、压力。此外,热电堆为热电动势方式,与电阻式相比,有助于降低功耗。


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