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仅有数毫巴极低压力范围的硅压阻式压力传感器内置一张超薄膜片。该膜片亦可能显示出对力的敏感性,但该敏感性并非由所施加的压力而引起,而是由传感器位移和改变位置而造成。
备注: First Sensor的LDE/LME/LMI系列超低压差压力传感器利用传感器芯片集成的微流路,通过检测热气流流量的变化检测气压,且无位置敏感性。
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