位置灵敏度

仅有数毫巴极低压力范围的硅压阻式压力传感器内置一张超薄膜片。该膜片亦可能显示出对力的敏感性，但该敏感性并非由所施加的压力而引起，而是由传感器位移和改变位置而造成。

备注： First Sensor的LDE/LME/LMI系列超低压差压力传感器利用传感器芯片集成的微流路，通过检测热气流流量的变化检测气压，且无位置敏感性。