压阻式压力传感器

硅基压阻式压力传感器由薄型膜片制成，在膜片中嵌入电阻器，形成惠斯登电桥。当压力施加于膜片上时，电阻率因机械应力（压阻效应）而产生变化。通过在桥电路上施加电压，可产生一个与压力成正比的传感器输出信号。